今天漓源環保給大家介紹一下集成電路氫氟酸廢水處理,集成電路工業發展迅速,其工藝進步的腳步快、使用藥品多樣化,使得生產廢水組成成分復雜。歸納起來可分為:無害排水、常規污染物排水以及有害污染物排水三類,其中氫氟酸廢水就屬于第三類,必須通過有效處理無害化后方可排放。
通常含氟廢水采用化學沉淀對氟進行分離,典型集成電路氫氟酸廢水處理方法有石灰沉淀法、磷酸鹽沉淀法一級冰晶石沉淀法;石灰沉淀法即在含氟廢水中加入氯化鈣或者氫氧化鈣,將氫氟酸轉化為不溶物質氟化鈣,再經過靜置沉淀后進行分離,從而達到除氟的目的,因石灰價格便宜所以被廣泛應用。冰晶石沉淀法采用的鋁鹽容易受廢水中各種陰離子的影響導致除氟效果差。
此外集成電路氫氟酸廢水處理還可采用離子交換樹脂對含氟廢水進行回收,主要是利用三級離子交換樹脂,第一級采用弱堿性陰離子交換樹脂去除游離酸,第二級采用強酸性陽離子交換樹脂分解氨并將其去除,最后一級利用強堿性陰離子交換樹脂把氟離子去除。該法通過樹脂再生后可得到濃縮后的氫氟酸,濃縮可以達到10倍;同時產生90%的低純水,低純水氟離子濃度可以處理至0.5mg/L以下,同時又能去除醋酸等有機酸。
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